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真空机械手PHOENIX-B系列

关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

描述:直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,通过SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

简介

Introduction

直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。

参数

Parameter

参数:

本体重量Body Weight

50KG

适用晶圆尺寸Wafer Size

300mm/200mm/150mm/100mm

负载Payload

1KG

电源输入Power Supply

AC电压:AC208V   AC频率:50HZ/60HZ

节拍Bear

8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料,传输位置不同相关)

动态偏差纠正精度(AWC)

±0.1mm

重复定位精度Repeatability

Z: ±0.05mm3σ)

T: ±0.003°(3σ)

R: ±0.05mm3σ)

漏率Leak rate

< 1 x 10-9 std. cc/sec He

真空度Base Pressure

5X10-9Torr

适用温度

Applicable   temperature

法兰:<120;本体:<50;手臂:<120

洁净度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>11million cycles

复合运动

Compound   motion

支持Support

PC远程操作软件

支持Support

通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互锁IO interlock

支持Support

安全区Safe area

支持Support

碰撞保护

Collision   protection

支持Support

认证Certification

SEMI S2 /SEMI   F47/CE


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