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真空机械手Titan1500C

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描述:采用磁流体密封技术,网络化控制系统,具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能,通过SEMI认证,MCBF大于1000万次,同时具备超高洁净度,耐高温、耐腐蚀,负载能力强等特点。满足个性化设计支持用户定制,负载、手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。是大负载真空机械手的优越之选。

简介

Introduction

Titan1500C作为LED芯片制造领域的真空机械手产品,大负载真空机械手主要用于LED芯片制造过程中,实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送,具有真空度高,传输效率高,负载能力强,耐高温等特点,大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率,是LED芯片制造装备的关键产品。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上,针对其大负载需求,创新了其传输结构和控制规律,使其能够达到12kg的负载能力,同时保持很小的占用体积,保持高耐真空度及洁净等级。

参数

Parameter

视频

Video

参数:

结构形式Mechanical Structure

柱坐标型/SCARA Cylindrical Coordinate/SCARA

驱动方式Driving method

伺服电机Servo Motor

手数量Number of Arm

单臂Single Arm

负载Payload

名称Name

托盘Tray

直径Diameter

Φ716mm

重量Weight

12kg

自由度数DOF

3

手臂长度Arm Length

355mm

手指长度(安装中心至硅片中心)

Finger   length(distance from install center to wafer center)

810mm

运动范围

Moving Range

RR-axis

1500mm

θ轴θ-axis

无限回转Infinite Rotation

ZZ-axis

150mm

全行程最小时间

Swap time

RR-axis

27.8sHome to Extend 1500mm

θ轴θ-axis

15s(180°)

ZZ-axis

13s150mm

重复定位精度Repeatability

RR-axis

±0.2mm(3σ)

θ轴θ-axis

±0.2mm(3σ)

ZZ-axis

±0.2mm(3σ)

最小回转半径Robot Clearance Radius

762.5mm

下垂量Deflection

5mm

真空度 Vacuum level

5×10-9   Torr

漏率Leak Rate

1×10-9   std.cc/sec He

电源Electrical

208VAC(50Hz/60Hz)

电源范围 电压波动范围

单相交流208V +10%-15%

通信接口Communication   Network

Ethernet

重量Drive body+arm set weight

195kg

行程

1500mm


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