400 800 8666
澳门太阳集团娱乐138> 产品中心 > 洁净机器人 > IC STOCKER
IC STOCKER

关键字导读: FOUP STK MR

描述:FOUP STK,高洁净度,电缆供电,低噪音,行走免润滑,SEMI软件接口,碰撞保护功能,MCBF50000次,Automatic teaching,设备可定制

简介

Introduction

用于IC行业FOUP自动化搬送、存储实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计,可使洁净度达到ISO Class4等级要求;带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能,有效保护FOUP、晶圆、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失;全新的系统运动逻辑规划,提高产品搬送效率;标准的SEMI软件接口,可以方便对接面板厂MCS系统,可实时上报系统各种状态数据,实现工厂智能管理;可以根据客户应用的特殊要求,定制设备功能及尺寸。


参数

Parameter

参数:

设备

IC Stocker

运动轴

行走 / 提升/ 旋转/ 叉取

有效负载

10kg

控制

PLC+PC

电源供应

VAC   220V±10%

电机

伺服电机

行走

驱动

齿轮齿条+减速机+电机

速度

2.2m/s

提升

驱动

电机减速机+同步带+带轮

速度

1.75m/s

旋转

驱动

电机+同步带+减速机

速度

120°/sec

叉取

驱动

电机减速机+同步带+带轮

/下料时间

4.8s

叉取FOUP精度

±0.5mm


XML 地图 | Sitemap 地图