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真空机械手PHOENIX PLUS B系列

关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

描述:直驱电机结构,与PHOENIX B系列相比,将控制器集成到机械手本体之内,大大缩减了整体尺寸,IO处理模块进行升级,具有先进的防碰撞保护功能。满足个性化设计,支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

简介

Introduction

直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性好,可靠性高。与PINUS B系列相比,将控制器集成到机械手本体之内,大大缩减了整体尺寸,并且缩短了互联线缆长度,可靠性得以提升。IO处理模块,可以根据用户需求配置输入输出数量,有效电平可以切换,用户可以根据需求将输出输入引脚配置成互锁、传感器检测等功能。输入信号支持硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。碰撞保护功能可以减少用户误操作导致的各种损失。以示教器作为人机交互媒介,方便调试人员使用。可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸、耐高温耐腐蚀特性等。

参数

Parameter


参数:

本体重量Body Weight

50KG

适用晶圆尺寸Wafer Size

300mm/200mm/150mm/100mm

负载Payload

1KG

电源输入Power Supply

24 V DC, ±5%

节拍Bear

10.5 s(Pick+Rotate180°+Place,与手指材料、传输位置相关)

动态偏差纠正精度(AWC)

±0.1mm

重复定位精度Repeatability

Z: ±0.05mm3σ)

T: ±0.006°(3σ)

R: ±0.05mm3σ)

漏率Leak rate

< 1 x 10-9 std. cc/sec He

真空度Base Pressure

5X10-9Torr

适用温度

Applicable   temperature

法兰:<120;本体:<50;手臂:<120

洁净度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>11million cycles

复合运动

Compound   motion

支持Support

PC远程操作软件

支持Support

通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互锁IO interlock

支持Support

安全区Safe area

支持Support

碰撞保护

Collision protection

支持Support


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